過硫酸

過硫酸
別名	ペルオキソ一硫酸
組成式	H2SO5
式量	114.04 g/mol
形状	白色固体
CAS登録番号	[7722-86-3]
密度と相	2.29 g/cm3,
融点	45 °C

過硫酸（かりゅうさん）は硫黄のオキソ酸のひとつ。ペルオキソ一硫酸、カロ酸 (Caro's acid) とも呼ばれる。化学式は H₂SO₅。強い酸化剤である。CAS登録番号は [7722-86-3]。ドイツの化学者、ハインリッヒ・カロ(de:Heinrich Caro)により最初に報告された。

調製方法

硫酸またはクロロ硫酸に濃過酸化水素を作用させる。ペルオキシ二硫酸を加水分解したり、硫酸と水を電気化学的に酸化して得る^[1]。

実験室的には、硫酸に過硫酸アンモニウムを加えて調製される^[2]。

用途

過硫酸は洗浄剤として用いられる。半導体回路製造過程で、レジスト除去剤としての用途が検討されている^[3]。

塩

過硫酸の塩は、酸素系の漂白剤、洗浄剤として用いられる。

過硫酸水素カリウムと硫酸水素カリウム、硫酸カリウムから成る複塩 (2KHSO₅•KHSO₄•K₂SO₄) は「OXONE（オキソン）」という商標名で市販され、有機合成などで酸化剤として用いられる。

関連項目

• 亜硫酸
• 硫酸
• ペルオキソ二硫酸
• ピラニア溶液

参考文献

1. ^ コットン、ウイルキンソン、『無機化学』、原書4版、培風館
2. ^ 例: Wang, Y.; Zhu, S. Tetrahedron Lett. 2001, 42, 5741-5744. DOI: 10.1016/S0040-4039(01)01106-6
3. ^ 東芝など，硫酸の使用量を70％削減するレジスト除去技術を開発 - 日経BPnet